服务案例

公司与电子科技大学合作，开发“微电子制造技术”虚拟仿真实验课程。

一、项目简介

本实验教学项目涉及微电子制造技术实验课程中的“基础工艺”、“集成二极管制造”“集成三极管制造”、“铝栅CMOS管制造”等主要教学内容，具有综合性、系统性、应用性强等特点，旨在培养学生对微电子制造基础工艺流程、参数优化、分析表征、器件制作与测试等方面知识的掌握和综合分析能力，加深理解工艺条件对器件制造的影响。本实验项目采用3D建模，依据真实实验场景，使用Maya和3DMax软件进行整体实验室（环境、设备）建模。数值仿真计算结果与实际实验结果误差不超过1%。

二、实验内容

1、清洗

2、氧化

3、扩散

4、光刻

5、刻蚀

6、电子束蒸发

7、典型器件制作-三极管制造