服务案例

公司与电子科技大学合作，开发“光学薄膜器件成膜设计及系统应用”虚拟仿真实验课程。

一、项目简介

实验系统采用了仿真与设计、化学清洗以及薄膜生长三个过程以模块化的先后次序横向体现在实验中，系统知识和报告评估纵向贯穿于这三个模块中。以虚仿的形式，完备再现了一个光学薄膜器件制作过程。从而完善学生对知识系统的理解，提高实验过程的获得感。

实验系统以交互式三维场景为背景，以实时性全方位体验为手段，以较为完备的系统理论查询为支撑，为学生搭建了一个逼真的设计与工艺虚拟环境，降低了薄膜器件制作工艺的学习门槛。该虚仿实验的推广，可以吸引更多学生关注以薄膜为基本工艺的电路集成及光集成的设计和工艺研究，并通过本实验获得工艺体验和知识积累。

实验系统以过程体验为重心，采取了动态评分机制。学生在学习与体验过程中获得相应的评估与激励。系统会记录学生轨迹与成绩，最终还原在标准实验报告中。在标准的实验报告中，学生需要回答相应的思考题目，以延伸对实验内容的理解。标准实验报告还将展示学生的整个实验内容，成为学生未来器件设计与工艺学习的参考。

二、实验内容

本实验包括以下3个部分，分别是：光学薄膜膜系设计，使用前薄膜的清洗，电子束蒸发镀制膜。

1、光学薄膜膜系设计

2、使用前薄膜的清洗

3、电子束蒸发镀制膜