光学薄膜器件膜系设计及应用虚拟仿真软件
时间：2022-12-06 访问量：450
实验编号：U20S03700
关键词：材料，光学
（一）内容介绍
（1）膜系设计与仿真实验
（2）高猛酸钾基片清洗仿真实验
（3）酸碱氧化剂基片清洗仿真实验
分别配制硫酸-双氧水，盐酸-双氧水，氢氧化铵-双氧水清洗液清洗基片，再用去离子水冲洗后备用
（4）电子束蒸发仿真实验
（二）实验的特色和亮点
首先学习膜系设计方法，根据设计目标确认中心波长，膜层周期数，膜系结构，选择基片材料，膜系材料，然后基片经化学清洗，进入电子束蒸发，分别经过开机装料，蒸发镀膜工艺摸索后，进行基片装载，束流，厚度设置，膜厚监控，自动真空镀膜过程，并记录相关数据。
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